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11-08
光刻机的分类及其优缺点
光刻机分为接触式和无接触式两类。接触式光刻分辨率高、成本低,但容易损坏掩模;无接触式光刻避免了掩模损坏,适用于大芯片制造,但分辨率稍低、成本较高。无接触式光刻又...
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